單晶硅爐用石墨熱場
單晶硅爐用石墨熱場?
單晶硅爐用石墨熱場，是一個集物理、化學(xué)、幾何綜合理論為一體，專門研究人員經(jīng)過多年反復(fù)考證，多年經(jīng)驗總結(jié)制定。
熱場采用細結(jié)構(gòu)中粗石墨做爐底護盤。保溫罩、上下蓋采用進口等靜壓石墨做加熱器、坩鍋、導(dǎo)流簡、托桿、鍋托等，保證了石墨坩堝的強度及純度。
熱場是單晶硅成晶的重要條件之一，熱場的梯度分布直接影響著能不能拉出單晶，以及拉制單晶的質(zhì)量好壞，其材質(zhì)好壞直接影響熱場壽命。本公司與中國最早生產(chǎn)單晶硅企業(yè)河北晶龍集團合作十幾年。與晶龍集團合作結(jié)合國內(nèi)外石墨材料一同研制成功18-22寸石墨熱場，并與晶龍集團成立了自己的石墨熱場生產(chǎn)基地。在晶龍集團等各大單晶硅生產(chǎn)基地長期應(yīng)用，對所用石墨材料及整個熱場壽命加以肯定，為以后生產(chǎn)特制定如下標(biāo)準(zhǔn)。
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